微型PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

  微型PECVD系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

  1、加熱圈套有石英罩，以減小熱量損失。

  2、樣品可置于加圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。

  3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。

  4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上，以便于樣品的放入和取出。

  5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  等離子源

  1、等離子體射頻電源：110/220V  50/60Hz  <100W

  2、輸出頻率：13.56MHz

  3、射頻功率：7.2W、10.5W、18W三檔，可調(diào)節(jié)

  4、腔體尺寸：外徑Φ76.2mm×內(nèi)徑Φ68.58mm×長(zhǎng)406.4mm

  5、加熱圈：電源220V，zui大功率500W，外徑Φ50mm×內(nèi)徑Φ40mm×70mm，并套有內(nèi)徑Φ50.8mm×

                        Φ75mm的石英罩

  6、法蘭：Φ3″不銹鋼法蘭，設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

  7、通入氣體：可通入多種惰性氣體，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性氣體

  8、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵）

  兩通道混氣系統(tǒng)

  1、浮子流量計(jì)：10-100ml/min，2個(gè)

  2、針閥：304不銹鋼針閥，3個(gè)

  3、壓力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），3個(gè)

  真空泵

  1、抽氣速率：120L/min

  2、接口：KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

  1、尺寸：等離子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，兩通道混氣系統(tǒng)340mm×

                   300mm×180mm，移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm

  2、重量：32kg