開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

產(chǎn)品型號(hào)

  開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長使用壽命。

  3、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。

  4、設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。

  5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC 220V   50/60Hz  2.5KW

  2、石英管：外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ75mm，長1000mm

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4、加熱區(qū)域：440mm

  5、恒溫區(qū)域：150mm

  6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升降溫速率：20℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、真空度：5.5×10^-3torr（機(jī)械泵），10^-4torr（分子泵）

  10、泄漏率：<5mtorr/min

  11、浮子流量計(jì)：3個(gè)；10-100ml/min，16-160ml/min，25-250ml/min

  12、壓力表：4個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm；重量：60kg