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VTC-100PA真空旋轉涂膜機

簡要描述:VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設備標配兩個不同大小的真空吸盤,可根據樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-02-27
  • 訪  問  量:3530

詳細介紹

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VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設備標配兩個不同大小的真空吸盤,可根據樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。VTC-100PA真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。
1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
2、真空度可以達到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
4、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
5、電機采用24V直流無刷電機,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。
7、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。
9、全英文操作系統。
10、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統,數值顯示更直觀可靠。

產品名稱VTC-100PA真空旋轉涂膜機
產品型號
VTC-100PA
安裝條件
1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露)溫度: 0-45℃。
2、設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。
3、水:設備配有排污下水口
4、電:單相:AC220V 50Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地
5、氣:真空負壓(真空泵) 抽氣流量不小于 70L/M(設備可通保護惰性氣體;如:Ar N2)
6、工作臺:建議 800X600X700mm承重 50KG 以上(固體水泥臺最佳)
7、通風裝置:無特殊要求
主要參數
1、供電接口:AC220 50Hz 10A
2、總功率:≤150W(不含外接真空泵)
3、涂膜腔體(材質):聚丙烯
4、載樣盤(吸盤):聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 各一個
5、運行方式:可儲存 12 組程序;每組程序包含 6 個運行階段
6、涂膜轉速:500rpm-10000rpm 有效
7、增減速率:每段增減速率設置范圍: 100 rpm —2000 rpm
8、涂膜時間:每段時間范圍:0-60s
9、轉速穩定性:±1%
10、控制方式:PCB 單片機、 按鍵控制 LMC 液晶顯示屏
11、加熱方式:無此功能
產品規格
尺寸:450mm×340mm×280mm;
重量:18kg


序號名稱數量圖片鏈接
1

真空吸盤(含O型圈)

(?19mm和?60mm)

2個

2中心定位器(含4個定位柱)
1個

3滴膠注射器(20ml)
1個
4注射器支架
1個
5無油真空泵
1個
6橡膠管(含卡箍)
1根


序號
名稱
功能類別
圖片鏈接
1其它尺寸的真空吸盤
(可選)

2
國產移液槍
(可選)

3
進口移液槍
(可選)


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